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                ?打造中国“芯”,赛默飞离子色谱保障高纯半导体级试剂

                发布:赛默飞世尔科技(中国)有限公司
                浏览次数:321

                电子行「业的发展为现代生活提供了极大的便利,电子芯片更是让整个世界远卐离了单纯依靠人力的时代。掌握※了芯片技术,某种程江苏快三大小单双计划哪里有度上讲就是掌握了现代IT技术▆的基础。而除江苏快三免费计划精准版了厂房硬件,芯片制江苏快三开奖走势图手机版造还需要不断消耗的基础高纯化学材料。

                7月1日日本对韩国进行半导体制造过程核心材料氟化聚酰亚胺、光刻胶、高纯度氟化氢〗等产品的出口管制,把高纯化工材料的问题推上了江苏快三开奖结果一定牛浪尖。赛默飞离子色谱,满足半导体级◆别试剂的检测要求,协助化工企业提高标准

                电子级HF

                电子级HF应用】于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀,是微电江苏快三三号单选子行业制作过程中的关键性基¤础化工材料之一。根据用途江苏快三专家推荐号码 jianhao.icaile.com的不同,电子级HF主要分为EL、UP、UPS、UPSS等级别,其中UPSS级别是目前zui高ω纯度级别。铺建完整的UPSS级HF产线,将使江苏快三开奖结果今天一定牛企业处于供应链顶端,拥有较大的话语权。

                SEMI标准中,zui高ji别HF中一般要求氯化物、硝酸盐、硫酸盐和磷酸盐浓度不高于0.1mg/kg,企业自定标准中有些已经要求达到0.01mg/kg,基质和目标物浓度差超过10?:1。这不仅挑战着产线☉工艺水平,亦◣挑战着分析监测水平。

                在高HF基体条件Ψ 下,如何测定痕量的杂质阴离子呢?

                赛默飞二维离子色谱江苏快三今天结果技术方案,被纳入《GBT 31369-2015太阳电池用↑电子级HF》中,作为推荐分析监测方案。

                第yi步 高氟基体的去除

                上图说明了二维离子色谱对电子级HF基体去除的原理。电子级HF中大量的氟『离子被吸附在离子排斥柱Dionex IonPac ICE-AS6的Donnan膜上,而其他强酸和中强酸的酸根,则先一步流出离□ 子排斥柱,进入到二维离子分析柱中进行分离和测定。整个过程只用江苏快三基本走势图表超纯水作为流动相,使得电子级HF中的高氟基体得到○很好地去除。

                第二步 迁移速度快的阴离子进入二维色谱柱进行●分离

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                图1 HF样品溶液的离子色谱图

                HF中的氟硅酸,则需在碱性〗条件下,使其水解并释放出等摩江苏快三怎么20分钟一期了尔的硅酸盐。选用柱后衍生-紫外检测-离子色谱〖方案,通过对硅酸盐测定,间接测定氟硅酸的含♀量,消除了高浓度氟离子江苏快三中奖表基体的干扰,并确保其准♀确定量低至μg/kg级水平。对样品的前处理需求,仅xian于稀释,操作简※单方便。

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                图2 HF样品中氟硅酸测定谱图

                半导体制造用水和表面沾污中痕量离子ぷ的分析

                超纯水♀是为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精■细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临≡界精细技术生产出来的水,其电⌒阻率接近18.3MΩ*cm极限值(25℃)。

                简单地说就是几乎去除氧和氢以外所有原子的江苏快三能不能赢钱水。我们利用双阀切换和在线富集,可以很好的测定》超纯水中的ppt级别的痕量阴№离子。

                图3 超纯水在线浓缩富集测定痕量阴离子

                通过淋洗液发生器配合▂双阀切换在线浓缩装置,淋洗液发№生器产生的KOH经过抑制后,产物是水,比碳酸盐体系具有较低的◎背景电导,所以具有更高的@检测灵敏度;而⊙通过在线富集,可以实现超大体积江苏快三开奖遗漏推荐进样,得到╱更低的检测下限

                电々子级硝酸

                硝酸具有〗强氧化性、强腐@ 蚀性和强酸性,是半□ 导体行业中常用清洗剂和刻蚀剂,试剂中混杂的痕量氯离子会严重影响半々导体器件的质量

                选用赛默飞江苏快三二同高容量阴离子交换色谱柱,只需将样品进行简单稀★释后进样,完成高浓度硝酸基体和常见阴离子杂质的分离分析◤。

                配置上,使用2台Aquion或ICS6000双系统组成的阀切□换系统便可■以轻松应对电子级试剂的杂质分析难题。赛默飞〓独特的“只加水”技术,无需配制淋洗液和抑制器再生液,极简操作;淋∏洗液电解产生,无空白污□染,高重现性,检出∮限可达ppt级别。

                赛默飞离子色谱,轻松满足半导〓体级别试剂的检测要求,助力打造中国“芯”

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                2019-08-29 14:14:44